Компания «Нанотроника», входящая в промышленную группу «Элемент», разрабатывает собственный растровый электронный микроскоп (РЭМ) — прибор для высокоточной визуализации и анализа поверхностей материалов. Устройство предназначено для выявления микротрещин, пор, царапин и других дефектов на уровне нанометров. Оно будет использоваться в микроэлектронике, металлургии, полупроводниковой промышленности, а также в научных лабораториях и НИИ.

Сегодня Россия полностью зависит от импортных поставок таких систем. Крупнейшие производители — Zeiss, Thermo Fisher Scientific, Hitachi — контролируют более 80% глобального рынка. В условиях санкций и ограничений доступ к новому оборудованию стал проблемой: ремонт, замена компонентов и обновление программного обеспечения затруднены или невозможны.

«Нанотроника» разработала макет установки и проводит испытания ключевых узлов. Электронно-оптическая колонна формирует пучок электронов, сканирует поверхность образца и регистрирует вторичные и отражённые электроны, на основе которых строится изображение. Разрешение позволяет анализировать структуры до нескольких нанометров.

В составе оборудования:
— вакуумная система, обеспечивающая давление ниже 10⁻⁵ Па;
— технологический блок с вакуумным столом для точного позиционирования пластин;
— камера фиксации для автоматического перемещения между зонами анализа;
— система АСУ — комплекс управления модулями, обработки сигналов и интерфейса с оператором.

Особенностью является возможность работы с двумя типами катодов: вольфрамовым и гексаборидом лантана (LaB₆). Первый дешевле и проще в обслуживании, второй — обеспечивает более высокую яркость пучка и лучшее разрешение. Такая гибкость позволяет пользователям выбирать баланс между стоимостью эксплуатации и качеством анализа.

Микроскоп предназначен для замены импортных решений начального и среднего класса, наиболее распространённых в университетах, индустриальных лабораториях и на предприятиях по производству полупроводников. Компания ориентируется на цену, сравнимую с популярными китайскими аналогами, что делает его конкурентоспособным не только на внутреннем рынке, но и за рубежом — особенно в странах СНГ, где сохраняется спрос на доступное аналитическое оборудование.

Проект реализуется за счёт инвестиций «Элемента». По данным компании, накопленный технологический задел позволит закрыть потребности российских производителей микроэлектроники в диагностических системах на срок до семи лет. Это снижает зависимость от поставщиков и повышает автономность разработки чипов.

Планируется, что микроскоп будет предлагаться не только как оборудование, но и как часть экосистемы: с технической поддержкой, сервисным обслуживанием, обучением персонала и возможностью удалённой диагностики. Это особенно важно в регионах, где нет специалистов по работе с РЭМ.

Выпуск запланирован на 2026–2027 годы. До этого этапа — тестирование прототипа, сертификация и настройка массового производства.

Разработка не заменяет топовые решения мировых лидеров, но формирует основу для развития отечественной базы в области аналитической электроники. В будущем это может стать платформой для создания специализированных модификаций — например, для контроля качества в производстве силовых чипов, MEMS-сенсоров или оптоэлектроники.